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盡量減小靜電（是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷的產(chǎn)生 這是控制靜電三部曲的第一步，在這凈化工作環(huán)境中，最好的措施：
1、盡量采用性質(zhì)相似器材，減少摩擦過(guò)程中產(chǎn)生的靜電電荷；
2、盡量采用導(dǎo)靜電（是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷）型或靜電耗材型材料的器材，減少接觸摩擦分離過(guò)程中產(chǎn)生積累靜電荷；
3、盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。
泄放和中和 這是控制靜電三部曲的第二步，在微電子生產(chǎn)的凈化室中最通常的措施（指針對(duì)問(wèn)題的解決辦法)是接地，采用導(dǎo)電性或耗散性材料泄放靜電荷，以及離子化消電器和靜電荷。
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